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一、CCD-電動真空插板閥電動超高真空插板閥概述:是通過電動裝置驅(qū)動閥桿帶動閥板作上下運動,達到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置型電動超高真空插板閥主要零件材料閥體、閥板:不銹鋼
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。
型電動超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)
在真空系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。
真空閥門具有下列特點:
壓力低于大氣壓,而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70~ 150℃的范圍。
對這類閥門基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。
按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組:
低真空閥門:介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空閥門:p=1×10-3毫米汞柱。
3)高真空閥門:p=1×10-4~1×10-7毫米汞柱;
4)超高真空閥門:p≤1×10-8毫米汞柱。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門,被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制,但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球形旋塞閥(球閥)、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣,因為旋塞閥需要用油潤滑,使油汽可能進入真空系統(tǒng),而這是不允許的。真空閥門既可用現(xiàn)場手控和遙控,也可用電動、電磁傳動(電磁閥)、氣動和液動控制。
真空閥門關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑(口徑在10毫米以下)的截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用
開關(guān)氣路,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開時,三科閥門機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當(dāng)閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽空,此時氣流流經(jīng)擴散泵。可見,閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng)路線。

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