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  • 閘閥
  • 超高真空插板閥
  • CC-A
  • CC-A超高真空插板閥
  • 553
CC-A超高真空插板閥主要技術性能
適用范圍(Pa)
105～1.3x10-7
閥門漏率(Pa.L/S)
DN≤200為≤1.3x10-7
DN≥250為≤6.7x10-7
閥門烘烤溫度（℃）

≤150(除傳動裝置外)

開閥時閥板兩側壓力差(Pa)
≤2.7x103
閥板密封件
氟橡膠
軸封處密封件
不銹鋼波紋管
► CC-A超高真空插板閥連接及外形尺寸
型號
通徑(DN)
ΦD
ΦD0
ΦD1
ΦD2
ΦD3
H
A

n-d
L
L1
B
法蘭標準
CC-50A
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-M8
493
165
80
GB/T6071
CC-63A
63
114
92.1
82.6
76.6
/
65
105
8-M8
547
190
80
CC-80A
80
130
110
99
93
/
65
130
16-M8
607
225
80
CC-100A
100
152
130.2
120.7
114.7
/
70
152
16-M8
660
267
100
CC-150A
150
202
181
171.5
165.5
/
70
202
20-M8
784
350
100
CC-200A
200
254
231.8
222.3
216.6
/
80
251
24-M8
882
426
100
CC-250A
250
314
288
308
275
271
85
300
24-M10
1146
570
130
JB5278
CC-300A
300
365
338
353
323
318
90
352
32-M10
1206
613
130
/
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